气体管路控制系统作用
主要由气源切换系统、管道系统、调压系统、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易1燃易1爆气体,如氢气等,可能在设计和施工过程中稍有差异,必须加入气体回火防止器等安全控制装置。
阀门是在流体系统中,高纯供气生产厂家,用来控制流体的方向、压力、流量的装置,是使配管和设备内的介质(液体、气体、粉末)流动或停止并能控制其流量的装置。阀门是管路流体输送系统中控制部件,用来改变通路断面和介质流动
方向,具有导流、截止、节流、止回、分流或溢流卸压等功能。
气体管路控制系统可以用于管理控制气体供应,包括流量,压力,开关等,同时带有泄漏报警1灯功能,能够有效保护用气安全。
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大宗特气供气系统介绍
大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) **大规模集成电路厂(气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太阳能电池生产线(气体种类包括NH3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括NH3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、NF3)、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括HCL)等行业。它们的投资规模巨大,采用1先进的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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电子特气系统的维护
由于特气系统是一种具有高风险的供应系统,因此在生产线现场的维护需要、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。
(1)特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜,每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高,并且。在维护前关闭钢瓶阀门,设置换瓶吹扫,程序自动进行抽气,置换等动作,根据气体性质的不同,一般至少吹扫60次以上,负压保压30分钟以上,确保气柜各管路与阀门吹扫干净。
(2)管路的维护,由于不同的气体性质不一样,对管路维护的方法也不相同,对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫(N2purge),一般至少反复30次,对于有吸附性的液态源气体,由于管路容易堵塞,需要多次的反复的抽真空,抽完后关闭阀门,1小时后会出现压力表回表的现象,会造成管道泄漏的误导,遇到此情况打开真空器发生器继续抽,直到没有吸附气体释放为止。
以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试,一般正压保压压力为使用压力的1.2倍,负压保压为-12PSI,保压时间至少120分钟以上,由于压力传感器(PT)受温度的影响,一般有2PSI的正负波动。
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